Семинар

Научная программа семинара: «Особенности применения электронно-лучевого литографа Raith 150TWO фирмы Raith GmbH при изготовлении Т-образных затворов полевых транзисторов для монолитных интегральных схем диапазона 30-90 ГГц», который состоится 28 мая 2012 г.

1.Основные достижения Учреждения Российской академии наук Института сверхвысокочастотной полупроводниковой электроники РАН (ИСВЧПЭ РАН) в области создания монолитных интегральных схем КВЧ диапазона.
Докладчик: директор ИСВЧПЭ РАН д.т.н., профессор П.П. Мальцев.
2.Особенности применения электронно-лучевого литографа Raith 150TWO фирмы Raith GmbH при изготовлении Т-образных затворов полевых транзисторов для монолитных интегральных схем диапазона 30-90 ГГц.
Докладчик: заместитель директора ИСВЧПЭ РАН Ю.В. Федоров.
3. Новые разработки электронно-лучевых литографов фирмой Raith GmbH.
Докладчик: представитель фирмы Raith GmbH