5-й научно-практический семинар пользователей оборудования Raith

10 июня 2016 г. в ИСВЧПЭ РАН состоялся 5-й научно-практический семинар пользователей оборудования Raith «Электронно-лучевая литография на оборудовании Raith: от идеи до реализации»