Установка молекулярно-лучевой эпитаксии ЦНА-9
Установка молекулярно-лучевой эпитаксии RIBER 32P
Установка низкотемпературного плазмохимического осаждения диэлектрических слоев
Plasmalab-100-ICP 180 фирмы Oxford Instruments
Установка низкоэнергетического плазменного травления материалов
SI-500 ICP фирмы Sentech Instruments
Установка низкоэнергетического плазмохимического травления
на основе электронного циклотронного резонанса (ЭЦР)
Установка приклейки пластин на диск-носитель фирмы Logitech
Установка шлифования и полировки пластин PM-5 фирмы Logitech
Установка ВИМС (Вторичная ионная масс-спектроскопия) CAMECA IMS 4F
Зондовая станция с измерителем ВАХ Tektronix CURVE TRACER 370A
Измеритель коэффициента шума Agilent N8975 и коэффициента мощности Agilent E4417A
Векторный анализатор Agilent E8361A
Установка плазменной обработки пластин Glen 1000P
Установка прецизионной контактной фотолитографии SUSS MJB4 IR (i-, g-, h-, line UV и DUV (λ=200-250 нм.))
Инспекционный оптический микроскоп Leica INM100 (видимый свет и УФ)
Установка электронно-лучевой нанолитографии высокого разрешения Raith150-TWO (Raith GmbH)
Установка электронно-лучевой литографии EBMF-2 (Cambridge Instruments), модернизированная
Установка плазмохимического осаждения диэлектрических слоев (PECVD)
Установка низкоэнергетического плазменного травления материалов SI-500 ICP фирмы Sentech Instruments
Установка напыления золота с безмаслянной откачкой, водяным охлаждением подложки и кварцевым датчиком толщины
Установка ионно-лучевого травления фирмы TECHNICS
Установка вакуумного напыления с безмаслянной откачкой, водяным охлаждением подложки и кварцевым датчиком толщины
Установка электронно-лучевой нанолитографии высокого разрешения Voyager (Raith GmbH, 2014)
ЭВМ 1 для расчетов и моделирования по программе ADS
Операционная система: Windows 7 Профессиональная
Процессор : Intel(R) Xeon(R) CPU E5-2687 W 0 @3.10 GHz 3.10 GHz (2 процессора)
Каждый процессор 8 ядер, каждое ядро 2 потока.
Итого 32 потока.
Установленная память (ОЗУ): 32.0 Гб
Тип системы: 64-разрядная операционная система
Общий объем памяти на жестком диске: 931.51 Гб
ЭВМ 2 для расчетов и моделирования по программе ADS
Операционная система: Windows 7 Профессиональная
Процессор : Intel(R) Xeon(R) CPU E5-2687 W 0 @3.10 GHz 3.10 GHz (2 процессора)
Каждый процессор 8 ядер, каждое ядро 2 потока.
Итого 32 потока.
Установленная память (ОЗУ): 32.0 Гб
Тип системы: 64-разрядная операционная система
Общий объем памяти на жестком диске: 931.51 Гб
ЭВМ 3 для расчетов и моделирования по программе ADS
Операционная система: Windows 7 Профессиональная
Процессор : Intel(R) Xeon(R) CPU X5690 @3.47 GHz 3.47 GHz (2 процессора)
Каждый процессор 6 ядер, каждое ядро 2 потока.
Итого 24 потока.
Установленная память (ОЗУ): 48.0 Гб
Тип системы: 64-разрядная операционная система
Общий объем памяти на жестком диске: 1397.27 Гб
Использование программы ADS.
На всех трёх ЭВМ установлена программа ADS версии ADS 2014.01, а на ЭВМ 1 установлена еще программа ADS версии ADS 2015.01. Эта программа используется для схемотехническог