НАУЧНАЯ СЕССИЯ «Элементная база информационно-вычислительных и управляющих систем»

28.02.2018 г. в ВЦ РАН им. А.А. Дородницына, г. Москва, состоялась НАУЧНАЯ СЕССИЯ «Элементная база информационно-вычислительных и управляющих систем», научный руководитель академик РАН Г.Я. Красников, в которой приняли участие директор ИСВЧПЭ РАН, доктор технических наук С.А. Гамкрелидзе, научный руководитель ИСВЧПЭ РАН, доктор технических наук П.П. Мальцев и начальник лаборатории ИСВЧПЭ РАН, кандидат технических наук А.Ю. Павлов. А.Ю. Павлов выступил на сессии с докладом на тему «Цифровое» травление барьерного слоя AlGaN/AlN/GaN HEMT в технологическом цикле изготовления нитрид галлиевых МИС высокой функциональной сложности»