Постоянно действующий международный научно-практический семинар пользователей оборудования Raith: «Электронно-лучевая литография на оборудовании Raith:от идеи до реализации»

Руководитель семинара: : Главный конструктор -заместитель директора по НИОКР ИСВЧПЭ РАН Ю.В.Федоров

ИСВЧПЭ РАН при поддержке ООО ОПТЭК с 2012 года проводит ежегодный международный научно-практический семинар пользователей оборудования Raith: «Электронно-лучевая литография на оборудовании Raith: от идеи до реализации»