7-ой ежегодный международный научно-практический семинар пользователей оборудования Raith

31 мая 2018 года под руководством Главного конструктора ИСВЧПЭ РАН Ю.В. Федорова состоялся 7-ой ежегодный международный научно-практический семинар пользователей оборудования Raith «Электронно-лучевая литография на оборудовании Raith: от идеи до реализации»