«Разработка базовой технологии создания МИС усилителей мощности и малошумящих усилителей на нитридных наногетероструктурах для приемопередающих модулей на частоту 8-12 ГГц» Этап 1 Этап 2 Этап 3 Этап 4 Этап 5